热丝法化学气相沉积(关于热丝法化学气相沉积的简介)

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1、 热丝法化学气相沉积，亦称“热解化学气相沉积”。

2、通过热解含碳气体制备金刚石的方法。

3、在由石英管或类似容器构成的真空反应室上部水平安装以难熔金属材料如钨、铌、钽等制成的灯丝，加热到2000℃以上；把用于沉积金刚石的基片置于热丝下方，向真空室中冲入甲烷等含碳气体和氢，在灯丝的高温作用下反应气体分解成离子，产生出含碳基团和原子氢等，构成金刚石的C-C sp3杂化键形成，从而在基片表面沉积出金刚石或金刚石膜。

4、 。

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