显影液的成分(去胶液、显影液的成分是什么啊?)

章栋菊
导读 大家好,小设来为大家解答以上问题。显影液的成分,去胶液、显影液的成分是什么啊?很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、半导体工

大家好,小设来为大家解答以上问题。显影液的成分,去胶液、显影液的成分是什么啊?很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!

1、 半导体工艺——光刻紫外负光刻胶显影剂:二甲苯。

2、清洗液:醋酸丁酯或乙醇三氯乙烯。

3、发展中的常见问题:不完全发展。

4、光致抗蚀剂残留在表面上。

5、显影剂不足造成的。

6、b不发达。

7、展开的侧壁不垂直。

8、开发时间不足造成的。

9、过度开发。

10、表面附近的光刻胶被显影剂过度溶解,形成台阶。

11、发展时间太长造成的。

本文到此结束,希望对大家有所帮助。

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