热化学动力学(关于热化学动力学的简介)

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1、 量子化学方法可提供与CVD过程有关的热力学和动力学数据,这些数据如果用其他方法会耗费很长时间,甚至可能无法获得。

2、这些数据可以成为进行CVD设备过程模拟的基础。

3、德国Siemens公司用ACCELRYS软件研究SiGe异质外延结构的热化学与动力学性质。

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